（美）J.D.普卢默 / 1986年03月第1版 / 193页

书名原文: Computer-aided design of integrated circuit fabrication process for VLSI devices.

（日）财团法人半导体研究振兴会编 / 1981年04月第1版 / 235页

刘俊标 / 2004年12月第1版 / 278页

电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著:本书重点讲述微纳加工中的关键部件——精密工件台的结构、原理和主要技术，以及通过精密工作台提高加工精度和生产效率的有效方法。

杨邦朝 / 2001年08月第1版 / 653页

本书从理论和技术两个方面全面、系统地论述了多芯片组件的基本概念、特点，发展MCM技术必须解决的关键技术，以及国内外多芯片技术发展现状。

庄镇泉 / 1990年09月第1版 / 220页

本书共分九章,内容包括:大规模集成电路设计的描述语言、逻辑模拟、版图设计基础、自动布局、自动布线系统以及半定制LSI蕊片设计。最后两章还集中介绍硅编译设计系统以及将人工智能应用于VLSI设计的智能CAD系统。

陈景银 / 1995.08 / 305页

马远良 / 1981.02 / 20页

洪先龙等 / 1981年05月第1版 / 238页