王秀峰 / 2008.05 / 225页

本书以微电子材料为对象，以材料和器件的制备工艺为主线，系统、全面的介绍了微电子材料与器件制备技术的前沿问题与进展。

周兆英 / 2007.07 / 820页

微系统和纳米技术，是微米纳米技术的两个重要组成，既有区别又有联系，是一个新兴的多学科交叉的科技领域。本书由40多位国内外著名专家学者分章撰写，分为微系统和纳米科学技术基础、微系统技术、纳米技术、应用问题、发展和展望等五个部分，共26章。。

王新贤主编 / 2006.11 / 515页

王新贤主编 / 2006.11 / 515页

王新贤主编 / 2006.11 / 515页

刘玉玲 / 2005.07 / 401页

高等学校教材:本书主要介绍了衬底材料化学特性、净化技术、IC制备等相关化学基础等，各章之间在技术上既有独立性，又和其他章节相关联。

王新贤主编 / 2004.08 / 515页

王新贤主编 / 2004.08 / 515页

王新贤主编 / 2004.08 / 515页

郝跃 / 2003年12月第1版 / 277页

普通高等教育“十五”国家级规划教材:本书共七章，以硅集成电路为中心，重点介绍集成器件物理基础、集成电路制造工艺、集成电路设计和微电子系统设计、集成电路计算机辅助设计。