王小海 / 1999年06月第1版 / 503页

张兴 / 2000年01月第1版 / 234页

王秀峰 / 2008.05 / 225页

本书以微电子材料为对象，以材料和器件的制备工艺为主线，系统、全面的介绍了微电子材料与器件制备技术的前沿问题与进展。

周兆英 / 2007.07 / 820页

微系统和纳米技术，是微米纳米技术的两个重要组成，既有区别又有联系，是一个新兴的多学科交叉的科技领域。本书由40多位国内外著名专家学者分章撰写，分为微系统和纳米科学技术基础、微系统技术、纳米技术、应用问题、发展和展望等五个部分，共26章。。

李青山 / 1991年12月第1版 / 318页

本书主要介绍集成电路原理及其应用所涉及的基本概念、基本原理和基本分析方法和应用电路的设计、各种常用集成电路产品等。

何希才 / 1997年12月第1版 / 233页

（民主德国）R·恩德莱 / 1989年10月第1版 / 194页

书名原文:Mikroelektronik:本书对微电子学的社会意义、对有关的半导体器件、电子电路和制造工艺都作了深入浅出的论述。内容包括了基本原理和有关最新进展的介绍。

郝跃 / 2003年12月第1版 / 277页

普通高等教育“十五”国家级规划教材:本书共七章，以硅集成电路为中心，重点介绍集成器件物理基础、集成电路制造工艺、集成电路设计和微电子系统设计、集成电路计算机辅助设计。

宋嘉炜 / 1982年09月第1版 / 276页

王保平 / 2002年04月第1版 / 151页

本书介绍了真空微电子学的物理基础，讨论了微细结构制造技术，阐述了真空微电子学的应用及其对未来电子学发展的巨大影响。